訪談｜ASML全球高級副總裁沈波：開放合作半導體行業才能發展

　　(第五屆進博會)訪談｜ASML全球高級副總裁沈波：開放合作半導體行業才能發展

　　中新社上海11月6日電題：訪談｜ASML全球高級副總裁沈波：開放合作半導體行業才能發展

　　中新社記者李佳佳

　　元宇宙體驗、光刻機“開箱”視頻和H5虛擬課堂，備受外界關注的全球半導體行業供應商ASML在第五屆中國國際進口博覽會上，首次通過“元宇宙”平臺，帶來沉浸式的光刻體驗，彰顯前沿科技。

　　自1988年交付首臺步進式光刻機以來，ASML進入中國市場已有三十余年，見證、親歷和支持了中國半導體產業的發展。

　　“今年是ASML第四次參展進博會，我們希望借助進博會的平臺不斷地展現開放共贏、合作發展的理念。”ASML全球高級副總裁、中國區總裁沈波表示：“ASML一直秉持開放與專注，以‘開放式創新’和對光刻技術的專注，持續支持半導體行可視對講業的發展。在進博會，我們可以與全行業甚至跨行業的企業和合作伙伴加深交流，共商合作前景。”

　　首次在進博會亮相的“ASML元宇宙”之旅給此間觀展者帶去了身臨其境的獨特體驗。在ASML元宇宙空間里，觀展者可以“親身”進入無塵室，近距離接觸神秘的光刻機，更可以結合影視級效果的3D裸眼視頻，了解光刻機的內部基本原理——光源經過照明模組投向掩模版，再穿過掩模版上的電路圖案，通過投影物鏡將影像聚焦到晶圓上。“元宇宙”中還有生動的全方位光刻解決方案動畫和豐富多樣的科普視頻，令觀展者沉浸式了解更多有關ASML的故事。

　　“每年我們都會思考以什么樣的形式參加進博會”，沈波說，去年，進博會的集成電路專區設立，凸顯了外界對產業的關注和重視。希望未來在設立專區的基礎上，能夠增加宣傳和引導，比如舉辦一些專題或者小論壇，以加深外界對行業的了解。

　　其實，除了光刻機，ASML在芯片制造的成像環節也會提供全方位的光刻解決方案，從光刻機設備本身到計算光刻軟件，再到芯片生產過程的量測、缺陷的檢查等，ASML均有涉獵。“我們更想跟大家講講怎么幫助客戶在芯片生產的過程中，在我們的環節上做出足夠大的工藝窗口，讓芯片生產的質量、精度能夠控制得更好，或者讓客戶的技術進步更順暢地向前。這是我們今年進博會主要的出發點。”

　　當前，中國已是全世界最大的成熟制程市場，這儼然成為行業的共識。“中國在整個半導體產業鏈中扮演非常重要的角色，這是所謂‘不確定性中的確定性’。在這種確定的情況下，中國該怎么發展成熟制程，怎么把成熟制程做好，怎么在全球的半導體產業鏈里把自己重要的角色扮演好，從這個角度看，中國市場的潛力是很大的，中國有全世界最大的終端市場，最活躍的應用市場，終端市場、應用市場反過來可以推動上游設計、制造方面的發展創新。”

　　說起行業未來的發展，沈波坦言，半導體行業自身有一定的周期，有起有伏不是新鮮事。但是從半導體行業過去多年的發展和對未來的預期來看，整體向上的趨勢是在的，“只要大趨勢在，就會要求有更多的計算、更多的存儲、更多新的應用支持，就會帶動半導體行業的需求量向上”。(完)

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